近几年来,,电动汽车、、、、电化学储能、、、以及光伏和风电等新能源市场的快速发展,,,,市场对功率器件的需求量大增,,,特别是电动汽车的兴起,,,让IGBT常年处于供应紧张状态,,且未来几年都没有缓解的迹象。。此时,,,,SiC器件也乘势而起,,,,开启了汽车领域的渗透之路,,,那么,,未来这两种功率器件将谁主沉浮呢??
IGBT与SiC的发展历史及市场情况
1982年,,通用电气的B•贾扬•巴利加发明了IGBT,,它集合了双极型功率晶体管(BJT)和功率MOSFET的优点,,一经推出,,便引起了广泛关注,,,,各大半导体公司都投入巨资开发IGBT器件。。随着工艺技术的不断改进和提高,,其电性能参数和可靠性也日趋完善。。。
据Omdia统计,,,全球IGBT市场规模在过去近十年中保持稳定增长,,,从2012年的32亿美元增长至2021年的70亿美元。。中国是IGBT最大的市场,,,,占到全球IGBT市场规模的40%左右。。。。另外,,根据测算,,国内车载IGBT市场的规模大概为60亿元,,,,如果按照每年200万辆的增量计算,,,,车载IGBT需求量至少100亿元以上,,,,需求量很大。。。。
目前硅基MOSFET和IGBT器件等高频功率器件由于技术成熟,,,,已经广泛应用于各种领域。。。然而,,,随着功率器件使用场合日益丰富,,对高效率、、、、高功率密度等性能要求也不断提升,,,,加上工作环境更加恶劣,,,硅器件的使用受到了其材料特性的限制,,,难以满足需求。。。为了突破传统硅基功率器件的设计瓶颈,,SiC和GaN等第三代半导体器件开始崭露头角。。。因为这类新材料具有宽禁带、、、、高饱和漂移速度、、、高热导率、、、、高临界击穿电场等优点,,,,特别适合制作大功率高压、、、、高频、、、高温、、、、抗辐照电子器件。。。。
近几年,,基于宽禁带半导体材料的功率器件制造技术的发展也突飞猛进,,,许多半导体公司都推出了其商业化的SiC和GaN功率器件。。。以SiC MOSFET为例,,现有的商业化功率器件耐压范围达到了650V~1700V,,等级达到了6~60A,,SiC模块的耐压等级甚至已经达到了几十kV。。。

据Yole统计,,,2021年全球SiC功率器件的市场规模为10.9亿美元,,预计未来几年的年复合增长率可达34%,,,至2027年,,市场规模可达62.9亿美元。。。。据悉,,目前,,,,SiC MOSFET在车载OBC和电控上在逐渐渗透。。。不过,,,现在很多供应SiC模块,,,包括OBC和MOSFET的企业,,同时也是IGBT的供应商。。 从市场前景来看,,如果SiC未来在车载上大批量上量,,,,产值会翻倍,,因为车载SiC模组的价格是传统硅模块的3~5倍,,,,OBC单管的话是硅模块的2倍。。。。业内人士预计今年SiC在国内电控领域有10%左右的渗透,,,,2025年可能会达到30%~50%的渗透。。。
IGBT与SiC的性能对比
前面有提到,,,IGBT集合了BJT和功率MOSFET的双重优点,,,它既具有功率MOSFET的高速和电压驱动特性,,又具有BJT的低饱和压降和承载较大电流的特点,,,且具有高耐压能力。。。据悉,,,目前商业化的IGBT模块耐压已经做到了6500V,,,,实验室甚至已经做到了8000V。。。。
目前,,,,IGBT器件的发展趋势主要是高耐压、、、、大电流、、高速度、、低压降、、、高可靠性和低成本。。近10年来,,,IGBT器件发展的主要难点在于其器件的物理特性,,,尤其是沟槽型IGBT的物理特性,,通常并不容易达到。。。主要体现在IGBT的开通速度和损耗、、、扩展至8英寸和12英寸制造/加工技术的挑战、、、缓冲层构成,,以及微沟槽设计等方面。。
也就是说,,,,要想设计出性能更好的IGBT产品,,需要减少产品的损耗,,提高开通速度、、、、鲁棒性和可靠性,,,提升工作温度等方面入手。。目前海外IGBT器件厂商,,,比如、、、ST、、、、三菱电机等基本都掌握了场终止层(Field-stop,,FS)+沟槽栅IGBT技术,,,,且相继推出了不同系列,,,,不同规格的600V~6500V IGBT器件和模块产品。。。 国内IGBT厂商由于设备和工艺水平等因素的影响,,,目前还处于追赶阶段。。不过可喜的是,,,已经有不少厂商取得了不错的进步,,比如国内的圣一欣亚太半导体科技(浙江)有限公司(以下简称“圣一欣亚太半导体”),,,,其已经量产的i20 IGBT芯片组,,,性能达到,,,甚至有些方面已经超过了国际主流厂商的第4代芯片的水平。。

据资料显示,,,,i20 IGBT芯片采用精细沟槽栅-场终止型(Fine Patrn Trench- Field Stop)结构,,,并通过N型增强层(N- Enhancement layer)、、、窄台面(Narrow Mesa)、、、短沟道(Low Channel)、、、超薄基底(Ultra-thin base)、、优化P+(Optimized P+ LAYER)、、、、先进3D结构(Advanced 3D structure)等多项优化设计,,,,进一步改善IGBT导通饱和压降和开关损耗折中性能,,同时大大增加了电流可控性(di/dt controllability)和短路稳健性。。。。

在性能方面,,,,根据圣一欣亚太半导体公开的其量产i20模块与相似封装技术的IGBT4模块测试对比来看,,,两个模块的开通损耗基本相当;关断损耗,,采用i20芯片组的模块略高,,,但饱和导通压降更低。。
在鲁棒性方面,,i20采用了鲁棒性非常高的IGBT元胞设计,,,,在VDC=800V时,,,可达到额定电流的4倍,,,,RBSOA高于短路电流水平。。。。

在可靠性方面,,i20 ED封装模块通过了车规级AQG 324标准中极其重要的高温高湿反偏试验(H3TRB)等测试。。。。且在经过1500小时后,,,仍然没有出现性能退化。。。
自2011年CREE公司推出第一代SiC MOSFET后,,很多研究人员对SiC MOSFET的特性进行了深入研究。。。。据研究,,,,SiC MOSFET器件可以显著减小硬开关电路的开关损耗,,,,提高变换器效率。。。不过在650V低压场合,,现有的SiC器件与硅基功率器件相比开关速度并不占优势,,,,但在900V以上的场合,,SiC的优势就显现出来了。。。

比如说,,,1200V器件的开关损耗与开关时间相比于硅基功率器件均大大减小。。。因此,,SiC功率器件非常适合于高频、、、、高压应用场景。。。而开关频率提升后,,可以减小系统中无源元件的体积和重量,,从而减小整个系统的体积,,增加系统的功率密度。。。。
目前,,,SiC MOSFET技术遇到的主要难点是原材料成本和加工技术,,,业界均处于着手解决SiC器件在制造、、、切割、、、互连和封装等工艺痛点阶段。。。。比如说目前主要的SiC晶圆还是4英寸,,6英寸和8英寸的产线还比较少,,,,良率目前也不是很高,,,,因此产量提升还有难度;次要的难点是改进器件理论并积累更多可靠性数据。。
随着Model3率先采用ST的SiC MOSFET器件后,,SiC MOSFET的需求一路高涨,,,目前处于供不应求的状态。。。。而随着蔚来ET5\ET7、、、、小鹏G9等搭载SIC MOSFET车型的交付及放量,,,而衬底和晶圆厂技术壁垒较高,,,,产能扩张慢等因素影响,,,再加上电动汽车800V平台的车型越来越多,,,对SiC MOSFET的需求将进一步放大,,未来供给缺口恐更大。。。。
结语
可以明显地看到,,,SiC MOSFET的技术性能优于硅基IGBT,,,但SiC的总体成本仍然很高,,这主要是由于原材料、、加工和产量决定的,,,,目前难以充分利用其全部特性。。。反观硅基IGBT,,,,目前技术已经非常成熟,,,经过40多年的持续奋斗,,,不断探索与创新,,,,硅基IGBT的参数折中已经达到了极高的水平,,,可以满足不同的应用市场需求,,,而且成本可控。。
因此,,可以预见的是未来相当长一段时间,,,,硅基IGBT和SiC器件将会共存于市场。。。。即便是电动汽车市场,,,,会极大推动IGBT和SiC器件的发展,,由于成本和性能的考量,,,,这两者也仍然会是共存状态。。。
节能减排和低碳经济必然会推动功率半导体市场的蓬勃发展,,,IGBT和SiC器件是功率半导体的技术前沿。。目前主要的供应商还集中在国外,,好在国内企业的发展势头也非常好,,比如圣一欣亚太半导体在2021年6月就完成了其第一条IGBT模块生产线,,,,并实现了量产,,,,该生产线制造的ED封装IGBT模块系列产品已经在数家电动汽车、、风电、、、光伏及工业电控领域企业开展测试,,,去年年底完成了以晶圆形式向新能源乘用车市场客户的批量交付。。。今年年中完成了IGBT模块批量交付新能源乘用车客户。。此外,,,,该公司SiC MOSFET产品也在布局当中,,,,预计今年推出第一代碳化硅模块。。。
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